应用

• 半导体、平板显示器和光伏行业

• 用于为半导体生产系统供应高纯气体

产品特性

• 高精度压力测量0.15 % RSS

• ***的长期稳定性

• 信号降噪和屏蔽

• 真空基准压力测量

• 主动温度补偿

描述

可靠
WUD-2x系列高纯传感器将***的传感器理念与模拟输出信号相结合，能够为当前市场需求提供安全、准确的压力测量。

基于真正真空基准的压力测量技术，加上带干扰屏蔽及噪音消除的电子测量技术，确保了高精度压力测量以及优异的长期稳定性。

主动温度补偿可降低温度变化对传感器的影响，即使在温度变化很大的应用中仍然能够安全使用，如气体膨胀时的焦耳汤姆逊效应。

WUD-25管道式及WUD-26表面安装传感器采用特别设计，可承受安装带来的扭曲应力。特殊的薄膜设计可消除过程连接或焊接接缝处的负载造成的传感器失效风险。

多用途
WUD-2x可轻松安装于“on-tool”配气系统中。明亮的LED显示屏可旋转，因此可从任意位置轻松查看读数。

配备2个可编程开关输出，可针对具体应用进行监测及控制。

结构紧凑
WUD-2x为紧凑型UHP传感器，够用于安装空间狭小的场合，甚至可轻松对现有装置进行改装。

WUD-20, WUD-25, WUD-26 WUD-20, WUD-25 测量范围 psi 30 60 100 160 250 350 500 1,000 1,500 2,000 3,000 5,000 MPa 0.2 0.4 0.7 1.1 1.7 2.5 3.6 7 10 14.5 22.5 36 过载安全 psi 120 120 210 320 500 750 1,100 2,100 3,000 4,200 6,600 10,000 爆破压力 表面处理 psi 1,800 1,800 2,200 2,600 4,800 6,200 7,400 8,000 10,500 10,500 10,500 10,500 其他要求的测量范围和单位（如MPa、kg/cm?） 压力：0 ...0.2 MPa to 0 ...6 MPa 真空压力：-0.1...0.1 MPa 至 -0.1...25 MPa 测量原理 金属薄膜传感器 材料 接液 外壳 舱内氦泄漏试验<1 x 10-10 kPa l/sec (atm STD cc/sec)，符合 SEMI F1 电解抛光，典型 Ra ≤ 0.13 ?m (RA 5)； Ra ≤ 0.18 μm (RA 7)，符合 SEMI F19 残留体积 WUD-20 <1.5 cm? WUD-25 <1 cm? WUD-26 <1 0="" 3="" 4="" 10="" 14="" dc="" ...30="" ...20="" ...5="" ...10="" v="" ra="" 0.02="" a="">5 kΩ DC 0 ...10 V，3 线，RA > 10 kΩ 电源 P 值 1 W 电流消耗 值 50 mA 总电流 消耗  250mA，包括开关电流 零点可调 量程的 -3.5 ... +3.5 %（通过电位计）电流输出信号 量程的 -2.0 ... +3.5 %（通过电位计）电流输出信号 信号响应 (10 ...90 %) ≤ 300 ms 开关点 可通过外部控制键单独调节 类型 数量 功能 开关电流 准确度 晶体管开关输出 NPN 1或 2 常开、常闭、开、关 SP1 / SP2: 100 mA ≤ 量程 0.5 % 显示 版本 7 段 LED，红色，4 位，高度 8 mm，270°可旋转 准确度 ≤ 量程1.0 % ±1 位 更新 0.2 s / 0.5 s / 1 s / 5 s / 10 s / 60 s（可调节） 准确度 ≤ 量程 0.15 %（≤ 0.4 %，测量范围 ≤ 0.2 MPa）RSS（和的平方根） ≤ 0.3 1) (≤ 0.6 1) ，测量范围 ≤ 0.2 MPa） 非线性 ≤ 量程 0.1 %（≤ 0.15 %，测量范围 ≤ 0.2 MPa）(BFSL)，根据 IEC 61298-2 滞后 ≤ 量程 0.14 % 不重复性 ≤ 量程 0.12 % 年稳定性 1) 包括非线性精度、回差、零点偏移和满量程偏差（与根据 IEC 61298-2 测得的误差值对应）。 ≤ 量程 0.25 %（典型值），基准条件下（≤ 0.4 %，测量范围 ≤ 0.2 MPa） 

介质 -20 ... +100 °C [-4 ... +212 °F] 环境 -10 ... +60 °C [14 ... +140 °F] 储存 -10 ... +60 °C [14 ... +140 °F] 额定温度范围 （中等） -20 ... +80 °C [-4 ... +176 °F]（主动补偿） 额定温度范围内的 温度系数 （主动补偿） 零点平均温度系数 ≤ 0.10 % FS /10 K 量程平均温度系数 ≤ 0.15 % FS /10 K 组装和包装区域 清洁室，5 级，根据 *** 14644 包装 双层包装，符合 SEMI E49.6 耐冲击性 15 g (11 ms)，30 g (6 ms)，符合 IEC 60068-2-27 抗振性 7.5 mm 或 2 g (1 ...200 Hz) / 5 g (200 ...500 Hz)，符合 IEC 60068-2-6 电气安全 短路电阻 S+ vs. U极性反接保护 U+ vs. U重量 约 0.2 kg 电流输出（3 线） 4 ... 20 mA: RA ≤ (U+ – 10 V) / 0.02 A 电压输出（3 线） DC 0 ... 5 V: RA > 5 kΩ DC 0 ... 10 V: RA > 10 kΩ RA 单位为 Ohm，U+ 单位为 V 4 ...20 mA，3 线式 输出信号和允许负载 允许负载